为呼吸而战 医疗级超微压压力传感器无冕之王:FLINTMEMS燧硅微系统

　　引：自疫情爆发以来，呼吸机作为抗疫救人的一道重要防线，在疫情施救的过程中肩负了重要的作用与使命，呼吸机曾一度供不应求，时至今，随着以美国、印度等海外国家疫情的持续蔓延，局面仍是如此。

　　市场上大部分呼吸机厂商大都会选用国外厂商制造的传感器产品，例如：TE（美国泰科），Amphenol（美国安费诺），Sensirion（瑞士盛思瑞），Honeywell（美国霍尼韦尔）等。而且价格不菲，市场价格均在数十美元。 　　近据记者了解，目前国内已经有厂商完成了国产替代的量产工作，并已经推向市场，而且在本次疫情期间被广泛应用。其中最为引人瞩目的是无锡燧硅微系统（flintMEMS）自主研发量产的医用超微压压力系列传感器产品，其生产的自主研发并量产的医用超微压FM191D系列压力传感器在性能与可靠性上已经可以达到世界领先水平，封装尺寸均可做到10mm*12.5mm，该系列传感器包括：FM191D-DS3AI-002WDP；FM191D-DS3AI-002WGP等在内，目前已经获得了包括ResMed（澳大利亚瑞思迈）、Maquet（瑞典迈柯唯）、Weinmann（德国万曼）在内的位于世界前列的医疗设备大厂的认可。同时，国内为数不多的专业的呼吸机厂商也纷纷与燧硅微建立了相关的产品合作，例如：航天科工旗下的航天长峰股份、北京易世恒电子、北京宏润达科技、上海力新仪器、江苏凯泰医疗等一大批国产知名品牌厂商。 　　据燧硅微CTO Henry Wang介绍，经过多年的努力研发，燧硅微（flintMEMS）通过自主设计与研发，于2019年末已经完成了超微压系列传感器的特种工艺结构与制程以及全自动多温度点补偿标定线的量产工作，并在此次疫情期间各类呼吸机用的超微压/微压流量&压力传感器交付数量超过10万颗，为呼吸机的传感器供应提供了有力的支撑。

　　接下来让我们来一起科普一下：呼吸机设备中最关键的核心器件则是传感器，包括超微压流量传感器以及微压压力传感器。作为重要的医疗用途的传感器产品，必需是能够在不同环境条件下都具有高重复性、高精确度、高可靠性等关键特征。 　　其中超微压流量传感器主要是用于对气道内气体的流量进行精确测量，后跟据患者实际呼吸速度的快慢，精准地对呼吸机的通气速度进行控制，使患者呼吸和进气频率保持一致。

　　而微压压力传感器则是将气道压力转化为差值电信号，并将测量值交给电路微处理器准确做出吸气和呼气判断，之后由微处理器发出指令控制气泵，增大或者减小管道压强，使患者呼吸自然顺畅。

　　国内传感器厂商由于起步较晚、技术经验积累不足与产业链完善程度的低下等原因，仅有少数厂商可以通过购买国外的半成品传感器，到国内来进行测试与标定，然后输出完整的传感器产品。随着近年来美国主导的贸易战，阻断了相应的材料来源，并且由于贸易战的升级，整个产业链中大部分关键材料与技术都被封锁了。其中最为关键的特种工艺晶圆制造、超高精度校准与标定自动化设备成为国内替代的关键所在。在如此大环境下，国内替代已经迫在眉睫，如箭在弦不得不发。虽然困难重重，但仍然无法阻止国人科技进步的决心。